准分子(Excimer)灯【126nm／146nm／172nm／222nm／308nm】
封入氙气的准分子(Excimer)灯，
（诱电体屏障放电Excimer灯）
可有效放射波长180nm以下的VUV，
（真空紫外线）
达到超越以往的化学反应与反应速度。
特征：
特征：
・单一波长、低温处理
因为是单一波长，因此可选择会引起化学反应的紫外线，
并可达到不使对象物产生非必要反应或热的低温处理。
・高效率
从电力转换为光能源的效率高（172nm型的转换率10%)，即使低电力亦可产生大的能量。
・可瞬间亮灯灭灯
仅于必要时照射必要量的能量，因此具备「不需要快门」、
「实际上可延长使用寿命」等各种优点。
・安装方向不受限制
灯的亮灯方向不受限制，可配合生产线做立面照射。
主要用途
・HDD光碟洗净
・阻剂剥离
・阻剂残渣的剥离
・塑料基板的洗净
・金属表面的清洗与重组
・Low-k Cure
・PDP萤光体评估
・分析评估前的洗净
・气体分解
・形成氧化膜
・防止带电
・乾燥
・玻璃胶膜的贴合
・纤维的改质
・有机EL封装管的接合性提高
・有机EL的工作函数増加