UV固化照射装置（液晶面板制造用设备）
适用于TFT-LCD液晶面板的贴合工艺，将液晶面板贴合所用的Seal材料，通过UV紫外线的照射在较短时间内进行固化，从而起到了提高生产效率，降低生产成本的效果。
- 特征
- 主要用途
- 高均一性照射
- 由于基板问题变化而产生的变色减少。
- 省略了周边四角的曝光
- Tack时间短
- 利用光学Filter对光的控制技术，
- 受损情况小，低温处理
- Mask对位机能
- 能够和Pattern进行精度较高的对位，
- 有效的曝光技术进行展开。
- 系统构成
- 设备本体
- 电源，控制面板
- 循环冷却Unit（Lamp冷却用）
- Mask Work冷却用冷气机
- ODF设备（UV Curing）的构造
- 照射部
- Stage部
