什么是气相沉积设备?
气相沉积设备是进行真空沉积(VD)的设备,在减压下使物质气化并在靶材上形成薄膜。
通过使用气相沉积设备,可以在目标物体上形成光滑的涂膜,并且还可以控制膜的厚度和成分。
气相沉积设备的应用
气相沉积设备可以由多种材料形成薄膜,包括铝等金属材料以及有机和无机材料。
气相沉积设备用于以下目的。
光学薄膜(镜片增透膜、特殊镜子等)
磁带(录音带、录像带等)
半导体(有机EL、LED、太阳能电池等)
电子元件(电阻、电容、半导体集成电路等)
食品包装材料(休闲食品袋用铝蒸镀膜等)
分析用途(样品制备)