什么是自准直仪?
自准直仪(英文:autockllimater)是一种利用光的直线性来测量被测物体微小角位移的光学装置。
它可以非接触式测量角度等,通常用于光学和机械系统中调整零件的位置和测量畸变。
自准直仪的应用
自准直仪不仅用于精确的角度测量,还用于平行度、直线度、光轴、对准等的检查和调整。
1、机床床身、机器人加工设备的直线度测量
使固定有平面镜的工作台沿引导面滑动,根据平面镜使十字线图像移动的量来计算直线度。
2、光学窗口、楔面等端面平行度测量
通过发射单个激光束,可以测量两个同轴表面之间的平行度。玻璃板等的平行度是通过测量正面和背面两个表面的反射光的角度差来测量的。
3. 测量垂直度
可以通过使用称为光学方形的五角棱镜弯曲光线来进行测量。
4. 测量转盘旋转角度
多面镜用于测量旋转盘或分度盘的分割精度。
5、弹性件挠度测量
通过将反射器固定在弹性件上并用自准直仪进行观察,可以测量微小的变化。
6. 光轴调整
如果天文望远镜的光轴对齐,则主镜的中心标记将在自准直仪的视场内重叠多层可见。
7、光学产品检验
测量磁盘和晶圆的翘曲度和波纹度,以及测量多角镜的精度。
自准直仪原理
自准直仪测量利用激光的直线性和通过透镜聚焦的原理。首先,主要采用半导体激光器作为光源,利用一次透镜将激光转换为平行光。该平行光穿过二次透镜并在焦点处形成图像。
在这种情况下,反射光沿着光路被半透半反镜分离,到达CCD等光接收元件,并形成图像。如果物体相对于照射的激光束没有倾斜地放置,则反射光的映射将与入射光完美匹配。另一方面,如果物体倾斜,成像就会产生偏移,因此可以根据偏移的程度来确定偏移的角度。