什么是激光显微镜?

  激光显微镜是一种光学显微镜,可让您通过光源扫描激光束来观察样品。

它一般采用共焦光学系统,也称为共焦激光显微镜或CLSM。激光显微镜采用共焦光学系统排除非焦平面的光,因此它不仅在水平XY方向上具有高空间分辨率,而且在高度Z方向上也具有高空间分辨率。

因此,通过在高度方向上移动显微镜图像的同时测量显微镜图像,也可以获得3D图像和全焦点图像。

激光显微镜的应用

激光显微镜使用光进行测量,因此无需接触样品。因此,在工业领域用于观察半导体、电子元件等精密设备的三维形状和表面形状,在生命科学领域用于观察荧光物质标记的细胞和生物组织.

此外,根据制造商的不同,可以定制激光显微镜的测量台,从而可以测量大型样品,例如大型平板显示器。激光显微镜的结构与典型显微镜类似,例如透镜和镜子,但它使用激光作为光源,并设计为共焦光学系统。激光具有相同的波长和相位,具有优良的单色性、方向性和直线传播的特点。

普通光具有不同的相位和波长,因此光路永远不会对齐,照射样品产生的反射光与散射光重叠,无法获得清晰的图像。另一方面,对于激光显微镜,通过在反射光穿过透镜并从样品反射后聚焦的位置安装针孔,可以去除多余的光,例如散射光。因此,您可以获得轮廓清晰的美丽图像。

此外,当使用激光显微镜获得二维图像时,有两种方法:移动载物台和移动激光机构。各自的特点如下。

  • 移动载物台的方法
    虽然可以测量大范围的区域,但载物台的尺寸有限,因此无法测量大样本。
  • 移动激光机构的方法
    除了能够测量各种尺寸的样品外,还可以测量表面的精细结构。使用激光显微镜进行扫描的方法有很多种。例如,使用检流计镜进行扫描会机械地移动镜子,但 MEMS 扫描仪或共振扫描仪也可以加快该过程。

    旋转圆盘法适用于高速测量,是一种将激光束照射到排列有许多微透镜和针孔阵列的圆盘上,同时拾取大量从样品反射的光的方法。时间。虽然这种方法可以一次性获得大量信息,但需要强度足够大的高功率激光才能扩散到一定程度。