| 型式 | HMW-615N-4 |
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| 二手灯 | 低压紫外线灯 VUV-100/A-5.3U 7灯 |
| 照射距離 | 25毫米 |
| 照射面積 | 400宽×400深 |
| 照射時間 | 任意（最大99分59秒） |
| 废气臭氧去除 | 使用臭氧分解过滤器 |
| 外形尺寸 | 700(宽)×800(深)×1447(高) |
【新品上市】 UV照射装置HMW-615N-4
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这是一种非接触装置，在半导体制造工序、液晶基板制造工序等微细图案形成工序中，对基板表面残留的有机物照射UV，去除有机污染物。可以在不损坏基材的情况下清洁和修饰表面。 |
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