| 模型 | VUM-3073F |
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| 二手灯 | 低压紫外线灯 VUV-040/A-2.2U 4灯 |
| 照射距离 | 15毫米 |
| 照射面积 | 200宽×200深 |
| 照射时间 | 0 至 99 分 59 秒（可变） |
| 废气臭氧去除 | 使用臭氧分解过滤器 |
| 外形尺寸 | 580(宽)×500(深)×240(高)mm 25kg |
【新品上市】紫外线照射装置 VUM-3073F
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这是一种非接触装置，在半导体制造工序、液晶基板制造工序等微细图案形成工序中，对基板表面残留的有机物照射UV，去除有机污染物。可以在不损坏基材的情况下清洁和修饰表面。 |
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