什么是缺陷检测设备?

 缺陷检测设备是检测产品和零件缺陷的检测设备。

专门用于检查外观缺陷的设备有时也称为外观检查设备。有些设备可以使用红外光检测内部缺陷。除了检测金属制品和树脂制品的缺陷外,还用于利用OCR检测食品包装的缺陷。

缺陷检测设备的应用

缺陷检查设备用于机械、电子/半导体、金属、食品等各种制造领域。它主要用于检测缺陷,例如:

  • 产品表面有划痕、污垢
  • 布上有污垢或缝纫不良
  • 树脂、橡胶成型时产生的缺口、毛刺
  • 漆面变色或颜色不均匀
  • 食品包装等孔洞、异物的印刷检查(OCR)

以下产品须接受此类缺陷检验:

  • 锂离子二次电池部件(电极、电极隔膜)
  • 轴承螺栓
  • 印制板
  • 半导体晶圆
  • 用于平板显示器的各种薄膜
  • 触摸屏、触摸设备
  • 纸、无纺布、碳纤维
  • 平板玻璃
  • FCCL用金属箔
  • 汽车用钢板
  • 引线框架
  • 压延/电解铜箔
  • 铝材质
  • 食品包装
  • 药品容器

缺陷检测设备原理

1、缺陷检测设备检测到的缺陷示例

  • 划痕和裂纹
  • 切屑/毛刺
  • 污垢和凹痕
  • 尺寸异常
  • 位置/角度异常
  • 异物附着/污染
  • 形状异常
  • 变色
  • 打印不充分(OCR 检查)

2. 缺陷检测机制

缺陷检测设备检测缺陷的机制包括图像处理方法和激光扫描方法。

在图像处理方法中,通过对用CCD相机等相机拍摄的图像数据进行处理来进行缺陷检查。这是一种预先登记合格品信息并与拍摄数据进行比较以确定合格/不合格的系统。此外,近年来还引入了使用人工智能来检测缺陷的系统。

在激光扫描方法中,光学激光照射到物体上,通过分析反射光来检查表面是否有划痕和缺陷。一般来说,比图像处理方法更准确的检查是可能的。有些产品还能够检测内部缺陷。激光类型包括平行光束型、激光聚光型和可变焦型。平行光束型可以稳定照射,而激光聚光型则具有检查精度高的特点。可变焦方式克服了激光聚光式聚焦光斑不稳定的缺点。

缺陷检测设备的类型

根据检查对象的不同,缺陷检查设备有多种类型。我们的产品包括用于半导体行业的晶圆缺陷检测设备、电子元件检测设备、无纺布缺陷检测设备以及用于包装检测的OCR字符检测设备。

1. 晶圆缺陷检测设备

晶圆缺陷检测设备是专门用于检测半导体行业使用的晶圆上的缺陷的缺陷检测设备。

在半导体晶圆上,并排制造具有相同图案的电子器件。缺陷常常由于异物和其他碎片而随机发生,并且它们在特定位置重复发生的概率被认为极低。图案化晶圆检测设备是典型的晶圆缺陷检测设备,通过比较相邻芯片的图案图像并取差异来检测缺陷。

另一方面,无图案检查设备利用激光束照射异物或缺陷时光发生散射的事实,通过照射激光并检测散射光来检测缺陷。该设备主要用于晶圆厂商出货检验、器件厂商验收等。

还有一些设备可以使用红外光进行内部缺陷检查。

2、电子元件缺陷检测设备

电子元件的缺陷检查设备包括对各种电路板、图像传感器等进行目视检查的设备。

专门用于检查陶瓷基板上出现的裂纹、污垢、过蚀刻和图形短路等缺陷的设备,以及适用于图像传感器产品的元件表面、外壳内表面、线接头和玻璃表面的缺陷检查设备发货前等等。这些设备可以检测微小的异物和缺陷,以及三维缺陷,例如凸起和凹痕。