USHIO牛尾曝光装置FL-3S
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FL-3S
这是配备菲涅尔透镜的高精度丝网光刻曝光系统。用于精密制版，主要用于制造MLCC、太阳能电池、薄膜开关等电子元器件。新真空系统的网框变形...
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